精密制造業(yè)主要有精密和超精密加工技術(shù)和制造自動(dòng)化兩大領(lǐng)域，前者追求加工上的精度和表面質(zhì)量極限，后者包括了產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造和管理的自動(dòng)化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動(dòng)條件的重要手段，而且是保證產(chǎn)品質(zhì)量的有效舉措，兩者有密切關(guān)系，許多精密和超精密加工要依靠自動(dòng)化技術(shù)得以達(dá)到預(yù)期指標(biāo)，而不少制造自動(dòng)化有賴于精密加工才能準(zhǔn)確可靠地實(shí)現(xiàn)。兩者具有全局的、決定性的作用，是制造技術(shù)的支柱。
費(fèi)斯托氣動(dòng)元件在精密工件生產(chǎn)中主要提供以下解決方案：
用費(fèi)斯托真空吸盤插件抓取
費(fèi)斯托真空吸盤插件OASI 可保護(hù)精密工件避免發(fā)生變形和斷裂。與相匹配的真空吸盤可組合成完整的解決方案，用于可靠地抓取和檢驗(yàn)晶圓。這種經(jīng)濟(jì)型解決方案特別適用于未加工晶圓的搬運(yùn)，例如用于太陽能電池生產(chǎn)線起始處的裝料站。
擴(kuò)大接觸面，保護(hù)精密工件不發(fā)生變形，防止閥受到污染，投資少，能源成本低
用費(fèi)斯托氣爪輕柔可靠的抓取
應(yīng)用場合：在生產(chǎn)過程中，需要頻繁地對(duì)晶圓進(jìn)行可靠抓取，并輸送到不同的生產(chǎn)工序中。為了盡可能保持模塊的低生產(chǎn)成本，這個(gè)過程需要快速完成，且必須保證輕柔搬運(yùn)，不對(duì)晶圓造成損壞。
您的目標(biāo)：隨著晶圓生產(chǎn)過程的深入，晶圓加工就越精細(xì)，價(jià)值也就越高。因此，對(duì)于工件搬運(yùn)而言，在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候選擇適用的抓取技術(shù)至關(guān)重要。此外還能減少投資，降低機(jī)器的能源成本。
用伯努利式費(fèi)斯托真空吸盤抓取
晶圓表面的印記會(huì)降低太陽能電池成品的性能。這些印記是由于抓取過后晶圓表面有所殘留所造成的。伯努利式真空吸盤抓取晶圓時(shí)幾乎不發(fā)生接觸，能可靠定位。與標(biāo)準(zhǔn)型真空吸盤相比，伯努利式真空吸盤利用純凈的壓縮空氣，通過狹窄的環(huán)形間隙將空氣強(qiáng)行排出，從而形成吸力，吸附晶圓，在輕柔提升的同時(shí)保持平穩(wěn)且不會(huì)在晶圓上有任何殘留。根據(jù)不同的要求，插件的材料可以選擇不銹鋼、聚合物、PEEK 或鋁，為抓取精密的太陽能電池提供了一個(gè)的解決方案。